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SEM掃描電鏡塊狀樣品如何正確制備

日期:2025-08-15 10:04:54 瀏覽次數(shù):10

掃描電鏡是材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域重要的表征工具,而塊狀樣品的制備質(zhì)量直接影響成像效果。本文從實(shí)際操作出發(fā),結(jié)合導(dǎo)電處理、固定技巧及常見問題解析,為您提供一套完整的制備方案。

一、制備前的核心準(zhǔn)備

1.1 明確觀察目標(biāo)

表面形貌:需保留樣品原始結(jié)構(gòu),避免過度處理。

成分分析:需確保樣品干燥且無污染,避免干擾能譜(EDS)結(jié)果。

特殊需求:如磁性樣品需提前消磁,生物樣品需快速固定以防止形態(tài)變化。

臺(tái)式掃描電鏡ZEM15.jpg

1.2 工具與材料清單

類別

工具/材料

用途

切割

精密切割機(jī)、玻璃刀

將大塊樣品裁至SEM樣品臺(tái)尺寸(通常≤1cm3)

清洗

超聲清洗器、PBS緩沖液

去除表面污染物(如油脂、灰塵)

固定

2.5%戊二醛、四氧化鋨(OsO?)

生物樣品前固定與后固定

脫水

乙醇梯度(30%-****)

逐步替換水分,防止干燥變形

導(dǎo)電

離子濺射儀、金/鉑靶材

提升非導(dǎo)電樣品導(dǎo)電性,厚度5-20nm

固定

導(dǎo)電膠帶、碳膠、銀膠

確保樣品與樣品臺(tái)良好接觸

二、分步制備流程

2.1 樣品切割與清洗

切割:

使用精密切割機(jī)將塊狀樣品裁至≤1cm3,避免機(jī)械損傷。

生物組織建議采用“灌流清洗法”:通過動(dòng)脈灌注生理鹽水清除血液,再取材。

清洗:

超聲清洗:頻率≤40kHz,時(shí)間≤5分鐘,避免樣品破碎。

化學(xué)清洗:丙酮/乙醇擦拭,去除氧化層或油脂。

2.2 固定與脫水

前固定:

生物樣品:2.5%戊二醛(pH7.2-7.4)浸泡2小時(shí),4℃保存。

非生物樣品:跳過此步,直接進(jìn)入脫水。

脫水:

梯度乙醇脫水:30%→50%→70%→80%→90%→****(每次15分鐘)。

臨界點(diǎn)干燥:液態(tài)CO?替代乙醇,避免表面塌陷(尤其適用于柔性材料)。

2.3 導(dǎo)電處理與固定

導(dǎo)電涂層:

真空濺射鍍膜:厚度5-20nm,金(Au)或鉑(Pt)適用于高分辨率成像,碳(C)適用于能譜分析。

液體導(dǎo)電膠:半浸沒固定粉末樣品,提升導(dǎo)電性。

樣品固定:

導(dǎo)電膠帶法:適用于金屬等導(dǎo)電樣品,粘貼后輕壓確保無氣泡。

碳膠/銀膠加固:非導(dǎo)電樣品需在四周刷膠,防止電荷積累。

三、關(guān)鍵注意事項(xiàng)

3.1 樣品尺寸與形態(tài)

尺寸限制:樣品高度≤1.5cm(物鏡調(diào)節(jié)范圍),平面面積≤1cm2。

形狀優(yōu)化:尖銳邊緣需打磨,避免電子束散射干擾成像。

3.2 干燥與污染控制

徹底干燥:生物樣品建議臨界點(diǎn)干燥,非生物樣品可60℃烘箱干燥。

無塵操作:佩戴無粉手套,使用鑷子取樣,避免汗液/油脂污染。

3.3 特殊樣品處理

磁性樣品:提前消磁,或使用專用樣品臺(tái)(如新威研選SEM氣氛保護(hù)臺(tái))。

低電壓模式:對(duì)高分子/生物樣品,降低加速電壓(1-5kV)減少輻射損傷。

四、常見問題與解決方案

問題

原因

解決方案

圖像模糊/閃爍

電荷積累(非導(dǎo)電樣品)

重新鍍膜,厚度增至15-20nm

樣品表面塌陷

干燥不徹底或方法不當(dāng)

改用臨界點(diǎn)干燥或冷凍干燥

噴鍍層不均勻

濺射時(shí)間不足或角度單一

延長(zhǎng)鍍膜時(shí)間,旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)多角度噴鍍

能譜(EDS)信號(hào)弱

噴鍍層過厚或樣品表面不平

拋光樣品表面,降低鍍層厚度至5-10nm

樣品漂移

固定不牢或樣品臺(tái)振動(dòng)

使用導(dǎo)電膠加固,檢查樣品臺(tái)穩(wěn)定性

正確制備SEM掃描電鏡塊狀樣品需兼顧操作規(guī)范與細(xì)節(jié)優(yōu)化。通過嚴(yán)格控制切割、固定、導(dǎo)電處理等環(huán)節(jié),并針對(duì)性解決電荷積累、干燥變形等常見問題,可顯著提升成像質(zhì)量。本文提供的分步指南與優(yōu)化建議,旨在為科研工作者與技術(shù)工程師提供實(shí)用參考。